时间: 2025-11-06 11:45:06 | 作者: 竞彩体育篮球
红外气体传感器是由四方仪器自主研制的高性能气体传感器，产品根据非分光红外技能(NDIR),可以准
红外气体传感器是由四方仪器自主研制的高性能气体传感器，产品根据非分光红外技能(NDIR),可以准确丈量半导体等使用中发生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体,兼容机台内常见预留尺度、法兰和通讯协议，可用于半导体堆积和清洗工艺的端点检测、腔室整理终端检测,可以削减清洁时刻,节约本金,进步产值。
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