该设备用于晶圆片分散、蒸腾、CAV生产前的清洗处理。该机共有六种清洗办法可供挑选，清洗程序为纯水清洗、胆碱清洗、冷热纯水冲刷、酸洗（HF）、纯水清洗。其工艺性能指标及可靠性*到达进口同类设备水平，但价格、售后服务、备品备件的供应等是进口设备*的。

  由超声波发生器所宣布的高频超声振动信号，经过换能器转换成高频机振动而传到达介质—清洗溶剂中，使用超声波在清洗溶剂中的“空化作用，使液体活动而发生数以万计的小气泡，这些气泡在超声波纵向传达成的负压区构成、成长，而在正压区敏捷决裂，就是在这种被称为“空化效应的过程中气泡决裂发生超越1000个大气压的瞬间高压，接二连三发生的瞬间高压发生一串小“爆破不断地冲击被清洗物体的外表，孔隙、缝道，使物体外表及缝隙中的尘垢敏捷脱落，从而到达被清洗物件净化的意图。因而使用超声波清洗质量好、速度快。对一般惯例整理洗刷办法，可到达清洁度要求，特别对几许形状很杂乱，带有各种小孔，弯孔和盲孔等被清洗物件，选用超声波清洗的洁净作用更显着。