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中材人工晶体研讨院请求氧化镓晶体抛光加工办法专利将资料去除率进步约23倍

时间: 2025-11-02 17:11:13 |   作者: 竞彩篮球今日推荐篮球

  金融界2025年8月20日音讯,国家知识产权局信息数据显现,北京中材人工晶体研讨院有限公司;中材人工晶体研讨院有限公司请求一项名为“一种用于氧化镓晶体抛光加工的办法”的专利,公开号CN120503058A,请求日期为2025年07月。

  专利摘要显现,本发明触及半导体资料加工技术领域,详细触及一种用于氧化镓晶体抛光加工的办法,包含以下过程:a) 外表预处理过程,选用CF₄/O₂等离子体处理氧化镓晶体外表,构成GaF₃和Ga(OH)₃混合改性层;b) 主抛光过程,在低温度的环境下,运用含有碳酸氢盐激活的过氧化氢体系的抛光液,结合超声波辅佐,对预处理后的氧化镓晶体进行首要抛光;c) 精细抛光过程,在更低温度环境下,运用较低压力和改进配方的抛光液对氧化镓晶体进行精细抛光;d) 清洗与后处理过程,选用多级清洗工艺去除抛光残留物并修正外表缺点,将资料去除率进步约2.3倍(到达1.2 μm/h),外表粗糙度Ra下降约2倍(到达0.09 nm)。

  天眼查资料显现,北京中材人工晶体研讨院有限公司,成立于2005年,坐落北京市,是一家以从事研讨和实验开展为主的企业。企业注册资本19016.682542万人民币。经过天眼查大数据分析,北京中材人工晶体研讨院有限公司共对外出资了2家企业,参加招投标项目100次,产业线条,此外企业还具有行政许可18个。

  中材人工晶体研讨院有限公司,成立于2000年,坐落北京市,是一家以从事研讨和实验开展为主的企业。企业注册资本22124.987112万人民币。经过天眼查大数据分析,中材人工晶体研讨院有限公司共对外出资了3家企业,参加招投标项目59次,专利信息106条,此外企业还具有行政许可115个。

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