金融界2025年8月20日音讯,国家知识产权局信息数据显现,北京中材人工晶体研讨院有限公司;中材人工晶体研讨院有限公司请求一项名为“一种用于氧化镓晶体抛光加工的办法”的专利,公开号CN120503058A,请求日期为2025年07月。
专利摘要显现,本发明触及半导体资料加工技术领域,详细触及一种用于氧化镓晶体抛光加工的办法,包含以下过程:a) 外表预处理过程,选用CF₄/O₂等离子体处理氧化镓晶体外表,构成GaF₃和Ga(OH)₃混合改性层;b) 主抛光过程,在低温度的环境下,运用含有碳酸氢盐激活的过氧化氢体系的抛光液,结合超声波辅佐,对预处理后的氧化镓晶体进行首要抛光;c) 精细抛光过程,在更低温度环境下,运用较低压力和改进配方的抛光液对氧化镓晶体进行精细抛光;d) 清洗与后处理过程,选用多级清洗工艺去除抛光残留物并修正外表缺点,将资料去除率进步约2.3倍(到达1.2 μm/h),外表粗糙度Ra下降约2倍(到达0.09 nm)。
天眼查资料显现,北京中材人工晶体研讨院有限公司,成立于2005年,坐落北京市,是一家以从事研讨和实验开展为主的企业。企业注册资本19016.682542万人民币。经过天眼查大数据分析,北京中材人工晶体研讨院有限公司共对外出资了2家企业,参加招投标项目100次,产业线条,此外企业还具有行政许可18个。
中材人工晶体研讨院有限公司,成立于2000年,坐落北京市,是一家以从事研讨和实验开展为主的企业。企业注册资本22124.987112万人民币。经过天眼查大数据分析,中材人工晶体研讨院有限公司共对外出资了3家企业,参加招投标项目59次,专利信息106条,此外企业还具有行政许可115个。
