近年来，利用光与细小颗粒作用时发生散射现象研制出各种能定量测定量烟尘和可吸入颗粒的分析仪器。如图方向导入，并与激光光束发生作用，使部分光发生散射。未散射的光沿原方向投射在黑体上被吸收，而散射光的方向被改动，其间一部分经由方向射到一个光度计，由光度计丈量其光通量，其他散射光被黑体吸收。途经三维检测腔交汇处的试样由真空泵抽出。

  用光散射法检测可吸入烟尘的是一个很杂乱的进程。有二个要素限制着它的丈量精度。一是采样进程。空气中尘土颗粒巨细可从100微米，研讨标明，经采样器和气路实践能进入检测腔的尘土是一个与颗粒形状，巨细，进气口处空气流速与采样气流流速的比率，气样涡流和进气口导向有关的杂乱函数。表1显现了颗粒巨细及其能抵达检测腔的联系。

  从上表中可知，大于50微米的颗粒几乎是不可能抵达检测处，除非运用特别的可操控和挑选颗粒巨细的进气口。第二个要素是被颗粒散射的光密度与颗粒的形状，巨细和折射率有关。直径在0.1 – 10微米之间的颗粒可获得比其他颗粒大得多的散射作用[8]，如图2所示。因而，现在运用光散射原理的检测器，比较适用于对0.1 – 10微米之间的可吸入颗粒的丈量。